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聚對(duì)二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無(wú)微孔無(wú)缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。
聚對(duì)二甲苯是一種有機(jī)聚合物（其基本形式為聚對(duì)二甲苯 N），僅由氫 (H) 和碳 (C) 原子組成。聚對(duì)二甲苯是疏水的，并且對(duì)幾乎所有化學(xué)物質(zhì)都有耐受性。這也適用于其他聚合物如 PTFE，但是這些非常的特性源自于非凡的生產(chǎn)技術(shù)。其中只有作為薄涂層才具有經(jīng)濟(jì)意義。該聚合物是通過(guò)氣態(tài)單體在冷的基材表面上聚合而形成的。所有液體涂層都包含氣體夾雜物，即使在表面張力較低的情況下也有局部收縮的趨勢(shì)。這會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)空隙、邊緣變薄和層厚度發(fā)生變化的情況。通過(guò)對(duì)直接來(lái)自氣相的聚對(duì)二甲苯進(jìn)行聚合來(lái)逐個(gè)放置分子，可實(shí)現(xiàn)沒(méi)有孔、沒(méi)有邊緣逸出，以及分子規(guī)模的恒定層厚度。聚對(duì)二甲苯在冷表面上聚合。由此導(dǎo)致基材上沒(méi)有溫度負(fù)荷。幾乎所有材料都可以通過(guò)聚對(duì)二甲苯進(jìn)行涂覆。
聚對(duì)二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對(duì)二甲苯)、Parylene C(聚一氯對(duì)二)和 Parylene D(聚二氯對(duì)二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。
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