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單晶爐簡(jiǎn)介編輯/單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹鳎┉h(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。購買技術(shù)主要要求1.單晶爐裝料量(單臺(tái)機(jī)產(chǎn)能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度) 5設(shè)備制造工藝控制保 6自動(dòng)化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。
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DL-78型單晶爐的熱場(chǎng)和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不斷擴(kuò)大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地,作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標(biāo)和增大單晶錠的直徑和長度,以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場(chǎng)上,硅晶體直徑大致每4~5年增長1時(shí)(25.4mm),相應(yīng)地,生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3~5公斤、8~12公斤、15~劉公斤和朋~6O公廳等幾個(gè)等級(jí)。在這發(fā)展中,有兩個(gè)條件是相輔相成、共同進(jìn)步的,這是單晶爐和拉晶工藝。
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