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一定工作壓力下，制備的氮化鉭薄膜硬度高達(dá)４０００ｋｇ／ｍｍ２以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因，并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構(gòu)變化的原因
用來(lái)制造片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
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