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層式爐/多層式工業(yè)爐節(jié)能定制化熱處理設備

更新時間:2025-03-28 信息編號:0428vfu47c55e5
層式爐/多層式工業(yè)爐節(jié)能定制化熱處理設備
面議≥ 1臺
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層式爐/多層式工業(yè)爐節(jié)能定制化熱處理設備

產品別名
層式爐,抽屜式加熱爐,層式爐廠家,固化層式爐
面向地區(qū)
品牌
萊寶
材質
其它
工藝
機加工
接口數目
可定制
可否定制
可以
亮度
可定制
使用環(huán)境
室內
顏色
可定制
LED多層共燒爐(層式爐)
——高均勻性·快速燒結·氣體保護·為LED芯片/封裝制程優(yōu)化

【產品定位】
專為LED行業(yè)設計的多層共燒熱處理設備,適用于芯片固晶、熒光粉燒結、封裝固化等關鍵工藝,解決傳統單層爐效率低、溫差大導致的色溫不均問題。

【核心優(yōu)勢】
溫控,保障LED一致性

多溫區(qū)立控制(±0.5℃精度),適應LED材料敏感溫區(qū)(如150-450℃關鍵段)

升溫速率可調(1-10℃/min),避免熒光粉/膠水熱沖擊

多層同步處理,產能提升

模塊化層架設計(標配5層,支持擴展至15層),單層裝載量30-100片(2/4英寸晶圓)

比單批式爐效率提升300%,能耗降低40%

全惰性氣體保護

密閉式爐腔+高純度氮氣/氬氣循環(huán)(氧含量≤10ppm),防止LED材料氧化

可選配真空系統(10^-3 Pa),滿足共晶焊等特殊工藝

潔凈與防污染設計

爐膛內壁鏡面拋光(Ra≤0.4μm),無顆粒脫落風險

耐腐蝕加熱元件(硅碳棒/鉬絲可選),避免金屬污染

【技術參數】
項目 參數詳情
溫度范圍 室溫~800℃(可定制1200℃)
均勻性 ≤±1.5℃(@450℃恒溫段)
氣體控制系統 質量流量計(MFC)配氣
載具兼容性 適配石英舟、石墨托盤等
數據記錄 可存儲1000組工藝曲線,支持MES對接
【典型應用】
? LED芯片:固晶、共晶焊、退火
? LED封裝:熒光粉燒結、硅膠固化
? 材料制備:氮化鎵(GaN)基板熱處理

可根據產品工藝定制!

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