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氧化鋁拋光液適用于金相和巖相研磨、拋光外,還適用于各種黑色和有色金屬、陶瓷、復(fù)合材料以及寶石、儀表、光學(xué)玻璃等產(chǎn)品的高光潔度表面的研磨及拋光。極細(xì)的磨料能夠得到需要的超精拋光平面。
注意事項(xiàng):
●投入使用可以在鉆石液研磨后或碳化硼研磨后使用。
●拋光液原漿PH在12.5-13.5之間,稀釋后PH太低會影響去除率。
●使用中控制拋光墊溫度在45度以下。拋光液循環(huán)使用后,去除率下降,由單位確定是否換新液。
●拋光液的拋光效率,無結(jié)晶、濃縮液易清洗:推薦稀釋比例(1:3~1:5)。
目前市場上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液,涉及半導(dǎo)體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調(diào)節(jié)劑0.1?10、余量為高純水;其制備過程為:①備料;②磨料預(yù)處理;③混合;④pH值調(diào)節(jié);⑤高壓均質(zhì)。
氧化鋁拋光液是一種應(yīng)用在金相拋光中的磨料。其實(shí),它的作用還遠(yuǎn)不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術(shù)檢測或是評定樣品時。對于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質(zhì)、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實(shí)驗(yàn)室來說,氧化鋁拋光液是的一種磨料。
當(dāng)我們使用了這種拋光液之后,它可以通過純粹的機(jī)械拋光快速地去除材料,達(dá)到不錯的表面處理效果。而如果選用其它種類的拋光液,比如具有弱堿性的硅膠拋光液,那就要通過化學(xué)/機(jī)械的拋光方法與材料表面形成反應(yīng)層。雖然柔軟的硅膠去除反應(yīng)層也可以得到一個的表面,但是在工藝上無疑麻煩了許多。使用氧化鋁拋光液可以算是一次性拋光成型的。所以大家在大部分的情況下,比如我們在做金相時,往往都是使用這種可以通過純粹機(jī)械拋光的拋光液。
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