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提拉式單晶爐技術(shù)參數(shù)1、電源電壓:380VAC±5%2、電源頻率:50HZ 3、電源相數(shù):3相3線制4、變壓器容量:190KVA5、加熱器加熱功率:160KW6、加熱溫度:1600℃7、加熱器加熱電壓:60V8、冷爐極限真空度:<a9、晶體直徑:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主爐室尺寸:φ900×1250mm上爐室尺寸:φ900×900mm下爐室尺寸:φ900×350mm12、翻板閥通徑:φ280mm13、封頭爐蓋高度:410mm14、副爐室尺寸:φ280×250015、籽晶轉(zhuǎn)速范圍:1~40rpm16、籽晶拉速范圍:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在爐內(nèi)有效行程:3500mm19、籽晶在副室內(nèi)有效行程:2100mm20、坩堝升速范圍:0.02~1mm/min21、坩堝快速:≥100mm/min22、坩堝在爐內(nèi)有效行程:400mm23、坩堝轉(zhuǎn)速范圍:1~30rpm24、兩個電極孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主機(jī)占地面積:2500x2000mm27、主機(jī)高度:6800mm28、主機(jī)重量:約7500Kg
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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過人才引進(jìn),擁有一批高、中級技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計人員和經(jīng)營管理人才,具有自主的產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機(jī)械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢,通過與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作,共同開發(fā)出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR8,TDR9型全自動晶體生長爐,并形成批量生產(chǎn)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2 設(shè)計的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無級調(diào)節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) )