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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表，生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產品早在80年代初進入市場，已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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數(shù)值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節(jié)的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。數(shù)值模擬是當實驗的費用太昂貴或無法常規(guī)進行時一種非常有用或的方法。舉例來說，對于無經(jīng)驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優(yōu)化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線，可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，半導體級直拉法的工藝控制\進入21世紀以來,隨著新興產業(yè)的科技創(chuàng)新,半導體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導體產業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導體產業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預見,硅材料由于其成熟的技術品質和穩(wěn)定的物理化學性質,將會在相當長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應用的領域也是相當廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設定的方向進行生長,終形成的。一般會采用直拉法進行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對熱場的設計,工藝的過程控制,減少位錯的產生,以及通過化學腐蝕對位錯進行檢測的相關問題。
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