電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測器造價昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，這時，可以使用二次電子探測器代替，但需要設(shè)定一個偏壓電場以篩除二次電子。
掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進行掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應(yīng)的處理。
對樣品的要求
1、不會被電子束分解
2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好
3、能提供導電和導熱通道
4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝
5、觀察面應(yīng)該清潔，物
6、進行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整
7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時電子束受到磁場的影響
掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多的性能、是用途為廣泛的一種儀器．它可以進行如下基本分析：?
1、觀察納米材料
：
其具有很高的分辨率，可以觀察組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
2、材料斷口的分析：
其景深大，圖象富立體感，具有三維形態(tài)，能夠從斷口形貌呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。?
3、直接觀察大試樣的原始表面：
它能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背散射電子象）。
4、觀察厚試樣：
其在觀察厚試樣時，能得到高的分辨率和真實的形貌。
5、觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)：
試樣在樣品室中可動的范圍非常大，可以在三度空間內(nèi)有6個自由度運動（即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn)），這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域帶來的方便。
6、在大視場、低放大倍數(shù)下觀察樣品，用掃描電鏡觀察試樣的視場大：
大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。?
7、進行從高倍到低倍的連續(xù)觀察：
掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬（從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)），且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對進行分析特別方便。?
8、觀察生物試樣：
由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點對觀察一些生物試樣特別重要。?
9、進行動態(tài)觀察：
如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以觀察相變、斷烈等動態(tài)的變化過程。?
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料：
因為掃描電子象不是同時記錄的，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進行結(jié)晶學分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。?
由于掃描電鏡具有上述特點和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
設(shè)備廠家
德國蔡司、日本電子、日立、FEI等
測試機構(gòu)
各大高校、科研院所等
疑難解答
1、樣品導電性不好的話，對成像會有什么影響？
樣品導電性不好會產(chǎn)生放電現(xiàn)象（也有人叫荷電現(xiàn)象）。像會有很亮很亮地方出現(xiàn)。解決辦法：減低加速電壓，用BSE探頭，或者低真空[A10]?。
2、加高壓及關(guān)高壓后放氣各有什么主意事項呢?
加高壓般要達到額定真空，否則氣體電離度大、損傷電子槍，但是電鏡軟件一般都已經(jīng)設(shè)置好，不到工作真空，根本加不上去高壓，所以只要能夠加高壓，也無其他特別的問題;做完電鏡關(guān)閉高壓，等30秒以上，待燈絲冷卻后再放氣為宜，主要也是為了保護電子槍。
3、SEM升樣品臺有什么主意事項呢?
樣品臺有它的額定移動距離，包括平面方向和上下方向，平面方向移動到極會有報警提示，看到提示往回移動即可。高度方向也如此，但是要注意向上移動時，要緩慢，要防止堅硬的試樣撞擊上方的探測器和極靴，損壞設(shè)備
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