廢渣主要來(lái)源
靶材損耗：濺射過(guò)程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設(shè)備維護(hù)：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應(yīng)氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘?jiān)何矚鈨艋b置（如活性炭吸附、過(guò)濾器）捕獲的金屬粉塵。

貴金屬回收是指從含貴金屬的廢料、廢液或廢棄物中提取金（Au）、銀（Ag）、鉑（Pt）、鈀（Pd）、銠（Rh）等稀有金屬的過(guò)程。由于貴金屬具有值、性及性，其回收不僅能創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)價(jià)值，還能減少資源浪費(fèi)與環(huán)境污染。

環(huán)保處理
回收過(guò)程中產(chǎn)生的廢液（如含酸、含氰、含重金屬離子）需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理，達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
固體廢料（如浸出后的殘?jiān)┤羧院⒘抠F金屬或有害成分，需進(jìn)一步安全處置（如固化、填埋）或二次回收。

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