南京雨花臺長晶爐回收 分子泵回收現(xiàn)場報價

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具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導向裝置20;其包括設(shè)于氣流導向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。

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提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機架：全鑄鐵機架和底座? 坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，半導體級直拉法的工藝控制\進入21世紀以來,隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學性質(zhì),將會在相當長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進行生長,終形成的。一般會采用直拉法進行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對熱場的設(shè)計,工藝的過程控制,減少位錯的產(chǎn)生,以及通過化學腐蝕對位錯進行檢測的相關(guān)問題。

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