制備五氧化二鉭薄膜并研究其性能,有很強的實用價值,已引起人們的密切關注。
Ta2O5（氧化鉭）薄膜的光譜透過波段為0.3～10um，是可見光到近紅外波段重要的高折射率材料之一。
鉭 Ta，金屬元素，主要存在于鉭鐵礦中，同鈮共生。鉭的硬度適中，富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。鉭有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應
鉭在單質中，僅次于碳，鎢，錸和鋨，第五。鉭富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外，它的韌性很強，比銅還要。
鉭的硬度較低，并與含氧量相關，普通純鉭，退火態(tài)的維氏硬度僅有140HV [1] 。它的熔點高達2995℃
鉭磁控濺射靶材所具有的特性，使它的應用領域十分廣闊
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