Inlens 探測(cè)器均放置 在鏡筒內(nèi)正光軸上， 在減少重新校準(zhǔn)耗時(shí) 的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。 Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運(yùn)動(dòng)時(shí)始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設(shè)定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計(jì)、 Inlens 探測(cè)器和電子 束推進(jìn)器技術(shù)。

Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專(zhuān)為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計(jì)，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達(dá)到高分 辨率。它由兩個(gè)協(xié)同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個(gè)全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢(shì)也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過(guò)優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布， 獲得出色的信號(hào) 探測(cè)效率， 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級(jí)分辨率。具體來(lái)說(shuō)， 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場(chǎng)降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像， 而無(wú)需將樣品浸沒(méi)在電磁場(chǎng)中。

全套探測(cè)系統(tǒng)： 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測(cè)樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測(cè)系統(tǒng)有大量不同 的探測(cè)器可供選配。通過(guò)組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測(cè)器、 Inlens 二次電子探測(cè)器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測(cè)器獲取樣品 材料、表面形貌或結(jié)晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產(chǎn)生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級(jí)樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來(lái)表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過(guò)特設(shè) 計(jì)的電子束推進(jìn)器向后加速進(jìn)入鏡筒，并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測(cè) 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內(nèi)探測(cè)二次電子。

維修、維護(hù)及優(yōu)化
確保顯微鏡的正常工作時(shí)間。蔡司的維保服務(wù)協(xié)議可讓您的運(yùn)行成本更經(jīng)濟(jì)，避免因停機(jī)而 造成的損失，并通過(guò)提升系統(tǒng)性能達(dá)到理想的工作狀態(tài)。維保服務(wù)協(xié)議可為您提供一系列的 可選服務(wù)種類(lèi)以及不同級(jí)別的服務(wù)。在選擇維保服務(wù)方案上我們會(huì)給予全力支持，以求滿(mǎn)足 您的系統(tǒng)需求與使用要求，同時(shí)遵守您單位的規(guī)定。

強(qiáng)化顯微鏡系統(tǒng)
蔡司顯微鏡系統(tǒng)可采用多種方式升級(jí)：開(kāi)放式的升級(jí)界面讓您一直保持較高的技術(shù)水準(zhǔn)。當(dāng)新 升級(jí)的裝備付諸應(yīng)用時(shí)，不僅能延長(zhǎng)顯微鏡的使用壽命，還能提高工作效率。

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