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離線裝料技術(shù)在直拉法硅單晶生產(chǎn)中的應(yīng)用\引言直拉法(CZ)生產(chǎn)單晶硅是目前制備單晶硅的主要方法。在單晶生產(chǎn)過程中,傳統(tǒng)裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態(tài)多晶硅料一塊塊地從爐體外轉(zhuǎn)移到石英坩堝內(nèi),再進(jìn)行合爐、真空檢漏[1]。整個(gè)過程非常緩慢,而且裝料過程中要避免硅料碎屑落入熱場內(nèi),裝料時(shí)間(清爐結(jié)束到合爐)約為2h,操作起來較繁瑣。此外,裝料工工作量不飽和,存在人力浪費(fèi)現(xiàn)象;在車間內(nèi)部裝料過程中涉及環(huán)節(jié)較多,硅料的潔凈度存在質(zhì)量隱患,不能確保硅棒的產(chǎn)品質(zhì)量[2]。隨著光伏市場競爭的日趨激烈,追求低成本和率成為每一個(gè)企業(yè)市場的逐勝之道。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。

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進(jìn)一步為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動(dòng)裝置之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動(dòng)裝置的底端設(shè)置有承載板，所述承載板通過少兩個(gè)螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對應(yīng)的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動(dòng)，以避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎?dòng)影響到承載板。

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