MEMS光開關(guān)是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過(guò)靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而改變輸入光的傳播方向以實(shí)現(xiàn)光路通斷的功能。MEMS光開關(guān)切換光波路由是通過(guò)外部控制信息以及相應(yīng)的高低電平控制內(nèi)部微鏡片抬升與否來(lái)完成的。
MEMS光開關(guān)與機(jī)械式光開關(guān)
機(jī)械光開關(guān)的工作原理是借助機(jī)械裝置物理地移動(dòng)光纖來(lái)重定向光信號(hào)。通過(guò)移動(dòng)棱鏡或定向耦合器，將輸入端的光導(dǎo)向所需要輸出的端口。機(jī)械式光開關(guān)分主要有3種類型：一是采用棱鏡切換光路技術(shù)，二是采用反射鏡切換技術(shù)，三是通過(guò)移動(dòng)光纖切換光路。

光開關(guān)是一種多端口光器件，端口配置情況有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光開關(guān)又稱OXC（光交叉連接開關(guān)、矩陣光開關(guān)）。基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開關(guān)，其結(jié)構(gòu)如圖所示，它包括一個(gè)MEMS微鏡、一個(gè)準(zhǔn)直透鏡和一個(gè)多纖插針。MEMS微鏡通常貼裝在一個(gè)TO管座上，然后通過(guò)TO管帽將準(zhǔn)直透鏡與TO管座組裝成一個(gè)組件，在有源調(diào)試狀態(tài)下，將多纖插針與前述組件對(duì)準(zhǔn)并固定在一起。

可應(yīng)用于MCS（多播交換光開關(guān)）
基于PLC技術(shù)及MEMS技術(shù)的多播交換光開關(guān)（MCS），是下一代可重構(gòu)光分插復(fù)用系統(tǒng)（ROADM）的關(guān)鍵組成部分；每個(gè)功能單元由M個(gè)立的Splitter和N個(gè)立的MEMS光開關(guān)組成；提供N個(gè)上路（或下路）端口至M個(gè)方向的連接。

MEMS光開關(guān)可應(yīng)用于哪些領(lǐng)域
MEMS光開關(guān)及其陣列在現(xiàn)有光通信中的應(yīng)用范圍很廣。其應(yīng)用范圍主要有：光網(wǎng)絡(luò)的保護(hù)倒換系統(tǒng)，光纖測(cè)試中的光源控制、網(wǎng)絡(luò)性能的實(shí)時(shí)系統(tǒng)、光器件的測(cè)試、構(gòu)建OXC設(shè)備的交換核心，光插/分復(fù)用、光學(xué)測(cè)試、光傳感系統(tǒng)等。
光開關(guān)具有一個(gè)或多個(gè)可選擇的傳輸窗口，可分為2×2，1×N，M×N多種端口配置形式。光開關(guān)在光纖通信系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用，其實(shí)現(xiàn)技術(shù)多種多樣，包括：機(jī)械光開關(guān)、熱光開關(guān)、聲光開關(guān)、電光開關(guān)、磁光開關(guān)、液晶光開關(guān)和MEMS光開關(guān)，等等。其中機(jī)械光開關(guān)和MEMS光開關(guān)是目前應(yīng)用較為廣泛的兩種光開關(guān)。

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  硅基可調(diào)光延時(shí)線

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  16*16MEMS光開關(guān)

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  手持式光衰減器

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  高速可調(diào)陣列光衰減器

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  臺(tái)式可調(diào)光衰減器

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  抗彎曲MiniMEMS光衰減器

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  多通道MEMS光衰減器模塊

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  1550nm蝶形激光器

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