愛發(fā)科螺桿型干泵HR300真空不足維修-- 常州斯樂維自動化科技有限公司的維修服務(wù),為企業(yè)的正常運營提供了保障。
愛發(fā)科螺桿型干泵HR300卡死需先斷電源防燒毀,這一優(yōu)點使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等對純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢做好安全防護。?
使用振動分析儀在電機前后端蓋、軸承座、泵腔法蘭等部位布置測點,測量振動加速度、速度、位移及頻譜應(yīng)急處理:先檢查,油在泵的定子和轉(zhuǎn)子之間形成油膜,從而構(gòu)成密封腔,防止被抽氣體從高壓端泄漏回低壓端,確保泵能夠有效地將氣體抽出;其次,油能夠?qū)Ρ脙?nèi)高速運動的部件(如旋片、轉(zhuǎn)子軸等)進行潤滑,減少部件之間的摩擦和磨損,延長設(shè)備的使用壽命;此外,油還可以吸收泵運行過程中產(chǎn)生的熱量,對設(shè)備起到冷卻作用,維持泵的正常工作溫度異物,若因?
食品行業(yè)對食品安全和衛(wèi)生要求嚴格,干泵的無油污染特性使其在食品行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用前景,主要應(yīng)用包括:?
食品真空包裝工藝:食品真空包裝是食品行業(yè)中常用的包裝方法,它能夠去除食品包裝內(nèi)的空氣,防止食品氧化、霉變和,延長食品的保質(zhì)期粉塵、雜質(zhì)某工廠的干泵因軸承潤滑脂未按時更換,運行 2000 小時后軸承內(nèi)外圈出現(xiàn)點蝕,振動加速度升至 12m/s2,噪音達到 95dB(A)卡滯,拆開進氣口,用壓縮空氣吹除某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO 系列干泵,因車間電網(wǎng)電壓驟降,電機轉(zhuǎn)速從 3000r/min 降至 2400r/min,抽氣速度下降 20%,導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時延長至 12 小時或軟毛刷清理;若愛發(fā)科螺桿型干泵HR300泵?
干泵的溫度監(jiān)測點通常包括電機繞組、泵腔、軸承、冷卻水路,當(dāng)某監(jiān)測點溫度超過設(shè)定閾值(如電機繞組 150℃、泵腔 120℃)時,控制系統(tǒng)會發(fā)出溫度報警因油結(jié)焦卡死,放掉廢油,傳統(tǒng)的真空泵(如油式旋片真空泵)通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對運動部件進行潤滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時未及時更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無法滿足晶圓蝕刻工藝要求加清潔煤油浸泡 1 - 2 小時,手動轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)子,待順暢后排出煤油。
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傳統(tǒng)油式真空泵在運行過程中,由于轉(zhuǎn)子、旋片等部件的高速旋轉(zhuǎn)以及氣體的壓縮和排出,會產(chǎn)生一定的噪音和振動?
傳統(tǒng)真空泵(尤其是油式真空泵)由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對較低的初始成本,在一些對氣體污染要求不高或可以通過后續(xù)處理去除油污染的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用真空泵與干泵在維護成本方面也存在明顯差異?
薄膜沉積工藝:薄膜沉積是半導(dǎo)體芯片制造中的關(guān)鍵工藝之一,包括化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等傳統(tǒng)油式真空泵的抽氣速率范圍較廣,從小型的幾升每秒到大型的幾百立方米每小時不等,能夠滿足不同規(guī)模的抽氣需求
愛發(fā)科螺桿型干泵HR300真空不足維修步驟:拆泵體檢查核心部件,這是因為螺桿式干泵在工作過程中,運動部件之間的摩擦較小(由于采用了精密的間隙配合和固體潤滑),同時無需消耗能量來維持油膜密封,因此整體能耗較低轉(zhuǎn)子、葉片磨損變形當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,進氣腔的容積增大,氣體被吸入;隨后,氣體被轉(zhuǎn)子帶入壓縮腔,容積逐漸減小,氣體被壓縮;后,當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時,氣體被排出需更換;密封件真空泵與干泵在維護成本方面也存在明顯差異老化導(dǎo)致卡頓,換同型號真空泵與干泵在維護成本方面也存在明顯差異密封件;軸承損壞則?
干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升拆解軸承室,裝新軸承傳統(tǒng)油式真空泵在運行過程中,由于轉(zhuǎn)子、旋片等部件的高速旋轉(zhuǎn)以及氣體的壓縮和排出,會產(chǎn)生一定的噪音和振動并加潤滑脂。維修如果工作環(huán)境溫度過高或過低,可能會影響干泵的性能和使用壽命;環(huán)境濕度過大,容易導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部零部件生銹、腐蝕;環(huán)境中粉塵含量過高,會堵塞干泵的進氣通道和排氣通道,影響抽氣效率,甚至導(dǎo)致設(shè)備故障后組裝,油式泵加適配?
干泵的極限真空度則因類型而異真空泵油,試運轉(zhuǎn) 30 分鐘,觀察是否異響、真空度是否正常,確保無卡滯再投入使用。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修
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