深圳GSI鉭鈮礦檢測技術有限公司擁有大型的實驗室,配備精良的測試儀器,與華南地區(qū)各實驗室存在廣泛的合作關系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測認證通道;幫助客戶減少開發(fā)風險、縮短產品研發(fā)周期、降低產品成本;及時獲得各國市場的準入證。
深圳鉭鈮礦化驗實驗室/檢測中心秉承:管理科學,公平公正;操作規(guī)范,數(shù)據(jù)準確;安全保密,廉潔自律的質量方針和第三方公正實驗室的職業(yè)道德,熱誠為國內客戶提供標準、檢測、認證工作的服務。
一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構變化的原因
研究表明,影響氮化鉭薄膜結合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大
氮化鉭為黃綠色結晶,屬型結晶,相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉化點溫度為17.8K。
利用磁控反應濺射技術制備了氮化鉭薄膜,利用TEM、XRD技術研究了薄膜的微觀結構。研究結果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒細?。ǎ保叮睿碜笥遥?;同時還發(fā)現(xiàn),在一定工作壓力下,隨著氮分壓的提高,氮化物晶粒形成的取向改變,即平行于基體表面生長的晶面會有改變。
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