制備五氧化二鉭薄膜并研究其性能,有很強的實用價值,已引起人們的密切關注。
五氧化二鉭靶材------ InChI=1/5O.2Ta/rO5Ta2/c1-6(2)5-7(3)4五氧化二鉭（Ta2O5）為白色無色結晶粉末，是鉭常見的氧化物，也是鉭在空氣中燃燒生成的終產(chǎn)物。主要用作拉鉭酸鋰單晶和制造高折射低色散特種光學玻璃用，化工中可作催化劑
鉭 Ta，金屬元素，主要存在于鉭鐵礦中，同鈮共生。鉭的硬度適中，富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。鉭有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應
鉭在單質中，僅次于碳，鎢，錸和鋨，第五。鉭富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外，它的韌性很強，比銅還要。
鉭是稀有金屬礦產(chǎn)資源之一，是電子工業(yè)和空間技術發(fā)展不可缺少的戰(zhàn)略原料
一般來說，廢鉭材回收的主要步驟包括收集、分類、預處理、再生和再利用等環(huán)節(jié)。其中，預處理是一個關鍵步驟，它包括去除雜質和清洗等過程，以使廢鉭材能被重新利用。
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