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基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設(shè)備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實際工作中要求提拉機構(gòu)既要做旋轉(zhuǎn)運動,又要做上升運動,同時還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現(xiàn)蠕動和擺動。提拉系統(tǒng)的晃動會引起生長瞬間微觀擴散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動,導致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導致生長時固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。

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單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設(shè)計與分析1　引　言半導體材料是半導體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導體硅。當今 95%以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時 ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產(chǎn)過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質(zhì)量。對單晶硅生產(chǎn)過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進行研究有實際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產(chǎn)中的作用。提拉桿的運動是靠驅(qū)動電機通過減速器 ,再由齒輪齒條機構(gòu)帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運動 ,而且當提拉負載增大引起線速度為零時 ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術(shù)指標是 ,提拉速度在 0 .2～ 1 0 .0 mm/h范圍之內(nèi)實現(xiàn)無級可調(diào) ,線性精度大于± 2 %分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，提拉式單晶爐在節(jié)能減排方面的主要目標包括，非化石能源占一次能源消費比重達到11.4%，單位國內(nèi)生產(chǎn)總能源消耗降低16%，單位國內(nèi)生產(chǎn)總值化碳排放降低17%。要達到這樣的目標，需要調(diào)用一切有效的手段，而光伏發(fā)電無疑是一種的選擇。縱觀能源利用現(xiàn)狀，以及為實現(xiàn)“十一五”節(jié)能減排目標所作出的努力，在未來的節(jié)能減排目標上仍面臨著重大的挑戰(zhàn)。

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