江蘇漣水真空流量計回收 江蘇漣水藍寶石單晶爐回收

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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產(chǎn)效率；本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室3移動，

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一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時 ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實際意義。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，使肩部近似直角；然后，進入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時，再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成，進行一定的保溫冷卻后可以取出。

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