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單晶硅生長爐的特點HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動，便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐取Ｙ|(zhì)量流量計控制流量。真空計結(jié)合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。
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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩(wěn)定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響，進而保下驅(qū)動裝置4的工作精度，所述底座1和下驅(qū)動裝置4之間設置有減震裝置，所述下驅(qū)動裝置4的底端設置有承載板41，所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動影響到承載板41。
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