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無塵車間的安裝系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)管理
清潔要求
（1）、清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無塵布；
（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；
（3）、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑；
（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。
（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。
（6）、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。
（7）、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過濾器的真空吸塵器。
（8）、所有的門都需要檢查并擦干
（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)、三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
（12）、工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
無塵車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
無塵車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之有三：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵車間安裝之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無塵車間安裝工具組，但不得帶出無塵車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無塵車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動(dòng)化與無塵化：
a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。
b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無塵車間安裝人員的限定，無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面敘述，此處不再說明。
在無塵車間安裝之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護(hù)管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測(cè)定與管理：
無塵車間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè)，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測(cè)量。
b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期。
e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測(cè)試及量測(cè)儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
i.無塵車間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理：?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測(cè)試，須無塵車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開始作業(yè)。
無塵車間安裝內(nèi)用品的管理
無塵車間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出無塵車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵車間安裝內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為無塵車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡(jiǎn)單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時(shí)不得運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時(shí)不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高無塵車間安裝內(nèi)使用，必要時(shí)可在更衣室等無塵車間安裝較低等級(jí)的區(qū)域使用白板。無塵車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取無塵車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì)有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響無塵車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之無塵車間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場(chǎng)預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時(shí)，須注意排氣旦之控制避免使無塵車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵車間安裝內(nèi)，故不可移至室外使用，若不用時(shí)應(yīng)置于較低等級(jí)的無塵車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。
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無塵室的建設(shè)及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
一、無塵室的定義
無塵室（Clean Room）是指空氣無塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。無塵室主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
二、無塵室的結(jié)構(gòu)組成
無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等； (3)隔墻板：包括窗戶、門；
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板； (5)照明器具：包括日光燈、燈管等；
無塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小； D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；
以上信息概括為：①組合式FFU機(jī)組 ②無塵送風(fēng)管道?、蹮o塵回風(fēng)管道 ④送風(fēng)靜壓箱 ⑤過濾器 ⑥多孔擴(kuò)散板⑦無塵室吊頂 ⑧無塵室隔斷 ⑨送風(fēng)口 ⑩新風(fēng)口
三、無塵室的等級(jí)
1、無塵室等級(jí)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
2、209E與209D等大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無塵室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5….表示。
3、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，好的等級(jí)為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
四、無塵室控管的項(xiàng)目
1. 能除去空氣中飄游的微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子的產(chǎn)生。 3. 溫度和濕度的控制。
4. 壓力的調(diào)節(jié)。 5. 有害氣體的排除。 6. 結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。
7. 靜電的防制。 8. 電磁干擾預(yù)防。 9. 安全因素的考慮。 10. 節(jié)能的考量
五、無塵室之分類
5.1 亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級(jí)1,級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高無塵室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之無塵度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
5.2 層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無塵度，在制程 中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
5.3 復(fù)合式(Mixed Type)：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超無塵之空氣。
(1)無塵隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使無塵度等級(jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
無塵隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)無塵管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將無塵度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無塵度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部無塵室(Clean Spot)：將無塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無塵度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；無塵工作臺(tái)、無塵工作棚、無塵風(fēng)柜即屬此類。
無塵工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
無塵工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之無塵空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
六、無塵室氣流之流動(dòng)
無塵室的無塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。
無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持無塵空間，因此利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的無塵度水準(zhǔn)之時(shí)，能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到無塵室無塵度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高無塵度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目般無塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。
無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之無塵度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
七、無塵室工程施工
1．無塵室施工應(yīng)在土建工程完成，清潔好現(xiàn)場(chǎng)后進(jìn)行
2．無塵室施工應(yīng)按一定程序進(jìn)行，就避免系統(tǒng)安裝時(shí)的帶塵作業(yè)，安裝過濾器或送風(fēng)末端時(shí)，避免帶塵作業(yè)。
3．無塵室施工程序見下圖（其他用房可參照此程序）。
4．施工安裝過程中隨時(shí)做好以下記錄
(1)土建隱蔽工程記錄 (2)管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄 (3)設(shè)備開箱檢查記錄 (4)管道壓力試驗(yàn)記錄 (5)管道純氣系統(tǒng)吹洗記錄 (6)風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7)風(fēng)管清掃記錄 (8)設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄 (9)系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄 (10)中間驗(yàn)收單
八、無塵室工程評(píng)定
無塵室工程驗(yàn)收，一般由法人組織驗(yàn)收平定組進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查?，F(xiàn)場(chǎng)檢查發(fā)現(xiàn)的工程缺陷分為嚴(yán)重缺陷和一般缺陷：凡關(guān)鍵項(xiàng)目不完整、不的屬嚴(yán)重缺陷；凡一般項(xiàng)目不完整、不的屬一般缺陷。
驗(yàn)收時(shí)不應(yīng)有嚴(yán)重缺陷，一般缺陷比例不超過檢查項(xiàng)目的20%。
如果雖然無嚴(yán)重缺陷，但一般缺陷超過20%～40%，或嚴(yán)重缺陷不超過3項(xiàng)，一般缺陷比例不超過20%，一般會(huì)限期改正。嚴(yán)重缺陷和一般缺陷超過以上數(shù)值，通過的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢測(cè)檢查。
九、無塵車間設(shè)計(jì)及驗(yàn)收規(guī)范
無塵車間作為一個(gè)“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn)，盡管任何建筑工程都包括設(shè)計(jì)、竣工驗(yàn)收、日常維護(hù)等環(huán)節(jié)，但是無塵車間還需要通過調(diào)試、檢測(cè)和綜合評(píng)價(jià)予以確認(rèn)，絕不可草率行事，匆匆投入運(yùn)營。
9．1 無塵車間設(shè)計(jì)內(nèi)容有：
1. 合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿足無塵車間特點(diǎn)的建筑構(gòu)造和材料；
3. 無塵車間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備；
無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。
公司主要從事凈化工程咨詢、凈化工程設(shè)計(jì)施工(手術(shù)室凈化、層流手術(shù)室、凈化手術(shù)室、十萬級(jí)凈化車間、無菌實(shí)驗(yàn)室以實(shí)驗(yàn)臺(tái))及配套凈化裝飾工程的公司，專為醫(yī)藥、、生物制藥GMP凈化、精密電子、食品、化學(xué)、生物、研究院所及其它高科技行業(yè)等領(lǐng)域凈化設(shè)計(jì)施工、測(cè)試、維護(hù)，并且提供與潔凈室相關(guān)的材料、設(shè)備、監(jiān)測(cè)裝置及家具等。河南晶立方凈化工程有限公司，成立于二零一八年，注冊(cè)資金五百萬元，以“科技為先，以人為本”的經(jīng)營宗旨；“立足河南，服務(wù)全國”的經(jīng)營理念。公司將秉持初心、 誠信做人、嚴(yán)謹(jǐn)做事、謁誠為廣大新老客戶提供貼心服務(wù)，實(shí)實(shí)在在化的設(shè)計(jì)施工，為您實(shí)現(xiàn)藍(lán)圖。
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無塵車間參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)
無塵車間（Clean Room）是指空氣無塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。
無塵車間主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵車間。按照國際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
無塵車間的等級(jí)
1、等級(jí)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D 及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
2、209E與209D等大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，無塵室等級(jí)以“M”字頭表示，如M1、 M1.5、M2.5、M3，??，依此類推，配合國際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5表示。
3、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1，Class 2，Class 3??Class8表示，好的等級(jí)為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
無塵車間管理要求
為了車間的干凈衛(wèi)生整潔特做如下規(guī)范要求：
1：進(jìn)車間穿防塵服，防塵帽，防塵鞋。（女士長(zhǎng)發(fā)全部塞進(jìn)帽子里面，不得披肩發(fā)）
2：私人物品一律放在更衣室不允許帶入生產(chǎn)車間。
3：早餐不允許帶入生產(chǎn)車間，請(qǐng)吃完再進(jìn)入車間。
4：外來人員在辦公室領(lǐng)取防塵服后方可進(jìn)入生產(chǎn)車間。
5：所有廢棄物及用過之化學(xué)品應(yīng)依規(guī)定之方式處理及傾倒。
6：隨時(shí)保持整潔，勿將垃圾留給別人，手套、指套、廢棄物勿隨手丟，應(yīng)置入垃圾桶內(nèi)。
7：勿將酸及混合傾倒，以免爆炸。
8：每天下班及時(shí)打掃個(gè)人區(qū)域，區(qū)域的干凈整潔。
9：每個(gè)人下班前把自己的工具設(shè)備放入位置，不得亂放或者至于操作臺(tái)，操作臺(tái)每天下班保持干凈清爽。
10：所有需要的配件分類放入工作臺(tái)收納盒，不準(zhǔn)亂放分類擺放。
11：車間嚴(yán)禁吸煙，發(fā)現(xiàn)次罰款500元，第二次直接開除！
