浙江寧海分子泵回收 浙江寧海直拉式單晶爐回收

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電氣特點(diǎn)(1)本系統(tǒng)采用PLC，工業(yè)彩色觸摸屏，因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，具有用電省, 發(fā)熱小的特點(diǎn)。系統(tǒng)可靠性很高，不會死機(jī)。同時觸摸屏和PLC間工作，連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫入的工藝文件，進(jìn)行半自動拉晶，可以在顯示器上修改，立即生效，操作方便。自動工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制，信號故障判斷診斷功能，可以排除觀察孔污染，信號被干擾，加熱電源故障，加熱器短路，加熱器電阻突變，人工輸入失誤等錯誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng)，用一臺PC機(jī)可同時監(jiān)控8臺單晶爐，采用RS422高速通訊，光電隔離，可靠性高。

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單晶硅生長爐的特點(diǎn)HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計(jì)。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動，便于裝料和維護(hù)等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計(jì)，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設(shè)備的維護(hù)。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐取Ｙ|(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動蝶閥實(shí)時控制爐內(nèi)真空度。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，由于數(shù)值模擬提供了一個近似真實(shí)的過程，利用這一技術(shù)可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對晶體質(zhì)量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程，以此方法用來預(yù)測晶體生長,改善晶體生長技術(shù)。舉例來說，對于無經(jīng)驗(yàn)人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場對晶體直徑，質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計(jì)算，優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)，在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。

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