在 2.45 GHz 頻率下產(chǎn)生的微波具有產(chǎn)生等離子體的特優(yōu)勢。在這個頻率下,微波可以有效地與氣體的電子共振,從而提高電離效率。此外,2.45 GHz 頻率允許使用相對較小的腔體尺寸,這對于緊湊型等離子體源的設計非常有用。 微波等離子體源具有多種應用,包括:
Sairem公司是法國一家專注于提供微波源、微波等離子體源的公司,它的微波源被廣泛應用于PECVD法制造生長金剛石設備中,等離子體源用于清洗、噴濺、蝕刻等設備中。
SAIREM微波等離子體源可以用于藥材提純的過程。微波加熱可以提高藥材的溫度并加速化學反應,從而實現(xiàn)藥材的快速提純。SAIREM微波源具有穩(wěn)定的性能和高功率輸出,可確保藥材提純過程的性和可靠性。通過調節(jié)微波功率和加熱時間,可以控制藥材提純的過程,使其達到理想的純度要求。這使得SAIREM微波源在藥材提純領域具有廣泛的應用前景。
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產(chǎn)品名:耦合器,Werlatone耦合器
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產(chǎn)品名:等離子體源,等離子體源火炬