現(xiàn)有晶圓片生產(chǎn)過程中,需要從一道生產(chǎn)工序轉(zhuǎn)移到下一道生產(chǎn)上,現(xiàn)有技術(shù)中依靠人力進(jìn)行傳送,傳送過程的耗費(fèi)人力,且人為傳送力道不能掌握,容易造成破片。為此,我們提供了一種自動晶圓傳片器以解決以上問題。
晶圓經(jīng)過前道工席后芯片制備完成,還需要經(jīng)過切割使晶圓上的芯片分離下來,后進(jìn)行封裝。不同厚度晶圓選擇的晶圓切割工藝也不同:
厚度100um以上的晶圓一般使用刀片切割;
厚度不到100um的晶圓一般使用激光切割,激光切割可以減少剝落和裂紋的問題,但是在100um以上時,生產(chǎn)效率將大大降低;
厚度不到30um的晶圓則使用等離子切割,等離子切割速度快,不會對晶圓表面造成損傷,從而提高良率,但是其工藝過程更為復(fù)雜。
切片工序的關(guān)鍵部分是切割刀片的修整(dressing)。在非監(jiān)測的切片系統(tǒng)中,修整工序是通過一套反復(fù)試驗(yàn)來建立的。在刀片負(fù)載受監(jiān)測的系統(tǒng)中,修整的終點(diǎn)是通過測量的力量數(shù)據(jù)來發(fā)現(xiàn)的,它建立佳的修整程序。這個方法有兩個優(yōu)點(diǎn):不需要來佳的刀片性能,和沒有合格率損失,該損失是由于用部分修整的刀片切片所造成的質(zhì)量差。
通常來說,對于小芯片減薄劃片時使用UV膜,對于大芯片減薄劃片時使用藍(lán)膜,因?yàn)?,UV膜的粘性可以使用紫外線的照射時間和強(qiáng)度來控制,防止芯片在抓取的過程中漏抓或者抓崩。若芯片在減薄劃切實(shí)之后,直接上倒封裝標(biāo)簽生產(chǎn)線,那么好使用UV膜,因?yàn)榈狗庋b生產(chǎn)線的芯片一般比較小,而且設(shè)備的頂針在藍(lán)膜底部將芯片頂起。如果使用較大粘性剝離度的藍(lán)膜,可能使得頂針在頂起芯片的過程中將芯片頂碎。
晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備,它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序,這就要求晶圓倒片機(jī)擁有的傳送效率和潔凈程度。通俗來講,更方便制造芯片,并且能夠在高度環(huán)境要求下制造更好的芯片。
在芯片的分割期間,刀片碾碎基礎(chǔ)材料(晶圓),同時去掉所產(chǎn)生的碎片。材料的去掉沿著晶方(dice)的有源區(qū)域之間的切割線(跡道)發(fā)生的。冷卻劑(通常是去離子水)指到切割縫內(nèi),改善切割品質(zhì),和通過幫助去掉碎片而延長刀片壽命。每條跡道(street)的寬度(切口)與刀片的厚度成比例。
所屬分類:電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
本文鏈接:http://www.nickled.com.cn/sell/info-c62jp2dg6987aa.html
佛山銷售晶圓扶梯多少錢一個
面議
產(chǎn)品名:晶圓扶梯,晶圓讀號器,晶圓查看器,晶圓扶梯
漳州化學(xué)品連接配件電話
面議
產(chǎn)品名:化學(xué)品連接配件
湖南供應(yīng)化學(xué)品連接配件電話
面議
產(chǎn)品名:化學(xué)品連接配件
山西定制晶圓扶梯價格
面議
產(chǎn)品名:晶圓扶梯,晶圓讀號器,晶圓查看器,晶圓扶梯
吉林銷售晶圓扶梯聯(lián)系方式
面議
產(chǎn)品名:晶圓扶梯,晶圓讀號器,晶圓查看器,晶圓扶梯
廣州定制晶圓扶梯多少錢一個
面議
產(chǎn)品名:晶圓扶梯,晶圓讀號器,晶圓查看器,晶圓扶梯
山東生產(chǎn)晶圓扶梯聯(lián)系方式
面議
產(chǎn)品名:晶圓扶梯,晶圓讀號器,晶圓查看器,晶圓扶梯
南京供應(yīng)化學(xué)品連接配件電話
面議
產(chǎn)品名:化學(xué)品連接配件