浙江秀洲真空爐回收 浙江秀洲真空流量計(jì)回收

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其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時(shí)效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長(zhǎng)期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn),采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運(yùn)行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強(qiáng)的實(shí)用性和經(jīng)濟(jì)推廣價(jià)值。1離線裝料的工作原理使用一個(gè)真空吸盤(pán)和一個(gè)特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,

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本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計(jì)了一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實(shí)際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2　設(shè)計(jì)的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過(guò)程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動(dòng)提拉桿上下運(yùn)動(dòng)。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié) ,它相對(duì)于給定信號(hào)的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見(jiàn)下節(jié)式 ( 3) ) 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，浮力提拉單晶爐提拉機(jī)構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡(jiǎn)稱FTD)是利用浮力原理設(shè)計(jì)成的提拉式單晶爐帕,十多年來(lái),用它先后生長(zhǎng)成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國(guó)內(nèi)已有幾個(gè)廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視?？墒?FTD在問(wèn)世以后,卻沒(méi)有進(jìn)行深入探討。雖然FTD的設(shè)計(jì)有過(guò)幾次變化,但由于沒(méi)有掌握設(shè)計(jì)的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴(yán)重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對(duì)多臺(tái)FTD作了分析對(duì)比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動(dòng)FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長(zhǎng)研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習(xí)C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}

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