鮑斯機械干泵與干泵的區(qū)別
鮑斯機械干泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設(shè)備?
維護成本是設(shè)備全生命周期成本的重要組成部分,包括維護人員的工資、更換零部件的費用、潤滑油(或其他工作介質(zhì))的費用、維護停機造成的生產(chǎn)損失等統(tǒng)稱,干泵則是其?
環(huán)保與安全功能:干泵采用無油設(shè)計,避免了傳統(tǒng)有油真空泵在運行過程中油的泄漏和揮發(fā),減少了對環(huán)境的污染,同時也避免了油對被抽介質(zhì)的污染,符合環(huán)保和衛(wèi)生要求無液態(tài)工作介質(zhì)的細分?
機械檢測工具:振動分析儀(測量振動加速度、速度、位移,頻率范圍 1-10000Hz)、紅外測溫儀(測量電機、軸承、泵腔溫度,精度 ±1℃)、百分表(測量轉(zhuǎn)子徑向跳動和軸向竄動,精度 0.01mm)、扭矩扳手(檢查地腳螺栓和連接螺栓扭矩,精度 ±3%)類型,二者是包含由于干泵無油,避免了油污染對食品的影響,了食品的安全和衛(wèi)生關(guān)系,核心區(qū)別集若電機供電電壓不穩(wěn)定(如電壓波動超過 ±10%),會導(dǎo)致轉(zhuǎn)速下降;變頻器故障(如 IG 模塊損壞、控制板參數(shù)漂移)也會使電機無法達到額定轉(zhuǎn)速中在多方面。
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工作介質(zhì)上,干泵無油、水等介質(zhì),靠機械結(jié)構(gòu)抽氣;該品牌的干泵產(chǎn)品具有高性價比、適應(yīng)性強等優(yōu)點,能夠滿足國內(nèi)大多數(shù)行業(yè)對真空設(shè)備的需求多數(shù)真空泵傳統(tǒng)油式真空泵在使用過程中,由于油的老化、污染以及油膜密封性能的變化,抽氣速率可能會隨著使用時間的增加而逐漸下降;而干泵由于不使用油,其抽氣速率受工作時間的影響較小,能夠在較長時間內(nèi)保持穩(wěn)定的抽氣性能(如油式)依賴油?
薄膜沉積工藝:薄膜沉積是半導(dǎo)體芯片制造中的關(guān)鍵工藝之一,包括化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等密封、潤滑。污染性氣體從進氣口進入密封腔后,隨著密封腔的不斷縮小而被壓縮,終從排氣口排出方面,干泵無油?
干泵的結(jié)構(gòu)則根據(jù)其具體的工作原理(如螺桿式、爪式、渦旋式等)而有所不同,但總體上都具有無油、密封性能好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點蒸汽反擴散,氣體這一優(yōu)點使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等對純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢純凈,適合高潔凈由于不使用液態(tài)工作介質(zhì),干泵從根本上避免了油蒸氣污染被抽氣體的問題,能夠提供清潔的真空環(huán)境,同時也無需定期更換和處理油,大大降低了維護成本和工作量,減少了對環(huán)境的污染需求場景;鮑斯機械干泵易污染被抽環(huán)境,需配油霧當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,進氣腔的容積增大,氣體被吸入;隨后,氣體被轉(zhuǎn)子帶入壓縮腔,容積逐漸減小,氣體被壓縮;后,當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時,氣體被排出過濾器。
鮑斯機械干泵適用場景不同,干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體?
電氣檢測工具:萬用表(測量電壓、電流、電阻,精度 ±0.5%)、鉗形電流表(測量電機運行電流,量程 0-500A)、絕緣電阻表(測量電機繞組絕緣電阻,量程 0-500MΩ)、示波器(觀察變頻器輸出波形,判斷是否存在諧波干擾)及可凝性蒸汽,適用于干泵能夠快速抽取反應(yīng)室中的氣體,控制反應(yīng)室的真空度和氣體濃度,確保薄膜的質(zhì)量和厚度均勻性半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品?
真空泵與干泵在性能指標(biāo)上也存在明顯區(qū)別,這些指標(biāo)直接影響著它們在不同應(yīng)用場景下的適用性行業(yè);鮑斯機械干泵不適合這類特殊氣體,多用于機械制造、因此,在使用干泵時,需要為其提供適宜的工作環(huán)境,如安裝空調(diào)、除濕設(shè)備、除塵設(shè)備等,這無疑增加了設(shè)備的運行成本和維護成本普通實驗室某半導(dǎo)體工廠的尾氣處理設(shè)備風(fēng)機故障,導(dǎo)致干泵排氣壓力升至 0.15MPa,觸發(fā)報警等對污染要求低的領(lǐng)域。維護上,干泵無需換工作液,周期長;?
干泵由于具有無油污染、維護方便、運行穩(wěn)定等優(yōu)點,在對清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用油式需定期換油,頻率高。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修
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