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供應商	上海河辰物資回收利用有限公司店鋪
認證
報價	人民幣 200000.00元每臺
關鍵詞	多晶硅鑄錠爐回收
所在地	上海市

產(chǎn)品詳細介紹

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單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設計與分析1　引　言半導體材料是半導體工業(yè)的基礎材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導體硅。當今 95%以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產(chǎn)過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質(zhì)量。對單晶硅生產(chǎn)過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進行研究有實際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產(chǎn)中的作用。提拉桿的運動是靠驅(qū)動電機通過減速器 ,再由齒輪齒條機構帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運動 ,而且當提拉負載增大引起線速度為零時 ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術指標是 ,提拉速度在 0 .2～ 1 0 .0 mm/h范圍之內(nèi)實現(xiàn)無級可調(diào) ,線性精度大于± 2 %藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為現(xiàn)有技術的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長爐的剖面結構示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結構示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導向裝置的結構示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結構示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結構示意圖。
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江蘇楚州真空泵回收江蘇楚州多晶硅鑄錠爐回收單晶爐型號定義\單晶爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如85爐，是指主爐筒的直徑大小，120、150等型號是由裝料量來決定的\單晶爐主要需要控制的方面一、晶體直徑（尺寸）二、溫度（功率控制）三、原料（硅料）四、泄漏率，質(zhì)量等\本文由rxl提供，歡迎大家完善