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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。?
對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
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在簡易隔離式偏壓電源設計中,非對稱半橋反激電路是關鍵。它通過同步降壓電路提供隔離電源,類似于同步降壓調(diào)節(jié)器的工作原理。輸入電壓驅(qū)動的場效應管(FET)驅(qū)動電感電容濾波器,隨后通過分壓器和誤差放大器的協(xié)同作用,調(diào)整濾波器輸出,保持DC電壓穩(wěn)定。特別之處在于,電感電路中的耦合繞組和二極管設計巧妙地解決了負載電壓調(diào)節(jié)的難題,通過二極管的直流電壓調(diào)整,提升了負載調(diào)節(jié)的精度。如果采用場效應管替代,性能將進一步提升。
總結(jié)起來,真空多弧離子鍍膜機的偏壓電源是一個精密調(diào)控的系統(tǒng),它通過復雜的電路設計,確保了離子的加速和沉積過程,從而實現(xiàn)的涂層工藝。無論是直流還是脈沖電源,每一環(huán)節(jié)都對終的鍍膜效果有著至關重要的影響。
1)所需設備:CCZK-1850SFL連續(xù)式磁控鍍膜流水線
2) 獲得膜層:一層或多層金屬,合金或金屬化合物膜層
3)涂裝流程: 玻璃產(chǎn)品的前處理清洗過程---進片上線臺---粗抽室---過渡室---精抽室---緩沖室---鍍膜室---后緩沖---精抽室---過渡室---粗抽室---出片下線臺---淋漆流水線(如果需要)---包裝成品
4)基本配置:
1.腔體結(jié)構(gòu):采用的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室,前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
2.腔體材質(zhì):碳鋼
3.靶材設計:采用新型旋極靶材以及平面陰極靶材。
4.電源配置:配備大功率中頻或直流磁控濺射電源
5.電氣控制:生產(chǎn)線采用PLC全過程控制,配備工業(yè)計算機人機交互系統(tǒng),快速的節(jié)拍設計。
6.人機對話:控制系統(tǒng)能實現(xiàn)人、機對話,及時對生產(chǎn)過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
7.傳動系統(tǒng):滾軸傳動,變頻可調(diào)
8.可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
9. 生產(chǎn)線安采用了的插板閥進行腔室隔斷,可以實現(xiàn)有效隔斷,穩(wěn)定工藝氣體。
10.生產(chǎn)線采用了均勻進氣管結(jié)構(gòu)設計,氣流注入均勻平緩;
11.泵抽系統(tǒng):擴散泵組或分子泵組+機械泵+羅茨泵
5)需求配套設施:
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