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為了方便副爐室3移動到取晶位，并方便副爐室3的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13，所述所述副爐室3通過副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12上，以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置12驅(qū)動副爐室旋臂14升降，并通過副爐室旋臂14帶動副爐室3升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋臂14之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13隨副爐室旋臂14一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室旋臂14旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂14又帶動副爐室3旋轉(zhuǎn)。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表，生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進入市場，已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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單晶爐真空系統(tǒng)的除塵技術(shù)/單晶爐是單晶體生長設(shè)備。單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應能保爐體內(nèi)熱真空度達5×1024mm 柱以上。如果使用惰性氣體作保護氣氛，爐體上、下都設(shè)有進出氣的氣口。生長單晶體時，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。西安理工大學工廠生產(chǎn)的混合式除塵器較好地解決了這一問題。本廠單晶爐系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺產(chǎn)品都使用這種除塵器。實踐明，它的主要優(yōu)點是除塵，能適應不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大。其具體結(jié)構(gòu)見圖2、圖3。該除塵器綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、擴散這幾種除塵機理。

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