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所述氣流導向裝置的中軸孔與該爐的石墨中軸活動密封連接，以防止 因該中軸孔與石墨中軸之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置的電極孔分別與該爐的電極柱密封連接，以防止因 該電極孔與電極柱之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒密封連接，以防止 因氣流導向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒之間的間隙而漏氣，影響 排氣效果所述氣流導向裝置各通氣孔與該爐的排氣口通過通氣管相連通，以提 高排氣效果。所述氣流導向裝置由石墨制成，石墨具有強度高、抗熱震性好、耐高 溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。本發(fā)明具有積極的效果(1)
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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產(chǎn)實際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，從除塵區(qū)域經(jīng)上盤12 個圓孔進入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機理和過程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結構簡單、經(jīng)濟性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應該經(jīng)常性拆卸進行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內徑= á 270mm; 進氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機理便滿足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。
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