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氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用于檢測氦氣的質(zhì)譜儀，其內(nèi)部有一套高真空系統(tǒng)，以及一個與其相連的質(zhì)譜室。外界的氣體進入到檢漏儀質(zhì)譜室后，會在離子源處被電離，產(chǎn)生離子。氣體離子被加速后進入磁場，其路徑會被偏轉(zhuǎn)，由于不同的離子荷質(zhì)比不同，偏轉(zhuǎn)半徑也不同。在合適的地方設置一個狹縫，就可以僅讓示蹤氣體——氦氣的離子通過并到達收集極。收集極得到的離子流信號和進入檢漏儀的氦氣量多少，即泄露率的大小成正比。通過測量該信號，就可以測量泄漏率。為什么使用氦氣作為示蹤氣體氦質(zhì)譜檢漏法用氦氣作為示蹤氣體，有下面幾個主要原因：

氦氣在環(huán)境空氣中含量極少（5ppm），環(huán)境本底比較低。

氦氣分子很小，并且擴散很快，可以縮短檢測器響應泄漏的時間。

氦氣容易獲取，、不易燃并且屬于惰性氣體。

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