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用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通，以便將硅料加加料坩堝62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內。具體地，外部加料器6和外部化料器7之間設置有旋閥64，以便通過旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通，所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場73，所述裝料器71和加料坩堝62相連通，所述化料器坩堝72和裝料器71相連通，
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所述氣流導向裝置的中軸孔與該爐的石墨中軸活動密封連接，以防止 因該中軸孔與石墨中軸之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置的電極孔分別與該爐的電極柱密封連接，以防止因 該電極孔與電極柱之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒密封連接，以防止 因氣流導向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒之間的間隙而漏氣，影響 排氣效果所述氣流導向裝置各通氣孔與該爐的排氣口通過通氣管相連通，以提 高排氣效果。所述氣流導向裝置由石墨制成，石墨具有強度高、抗熱震性好、耐高 溫、抗氧化、電阻系數小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。本發(fā)明具有積極的效果(1)分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐簡介編輯/單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。購買技術主要要求1.單晶爐裝料量（單臺機產能多少） 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質（少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度） 5設備制造工藝控制保 6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
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